激光干涉儀實驗報告

基于激光干涉儀的CA6140機床精度測量實驗 一、實驗?zāi)康呐c要求

1.了解雷尼紹XL-80激光干涉儀的工作原理；

2.掌握雷尼紹XL-80激光干涉儀的的使用方法；

3.掌握普通機床Z軸定位精度、重復(fù)定位精度的測量方法；

4.掌握普通機床定位誤差數(shù)據(jù)的處理方法。

二、實驗儀器與設(shè)備

1.雷尼紹XL-80激光干涉儀一臺；

2.CA6140機床一臺。

三、實驗原理

圖1 線性定位精度測量原理圖

來自XL-80激光頭的光束進入線性干涉鏡，在此光束被分成兩束。一束光（稱為參考光束）被引向裝在分光鏡上的反射鏡，另一束光（測量光束）則穿過分光鏡到達第二個反射鏡。然后，兩束光都被反射回分光鏡，在此它們重新組合并被導(dǎo)回到激光頭，激光頭內(nèi)的探測器監(jiān)測兩束光之間的干涉。

一般在線性測量過程中，一個光學(xué)組件保持靜止不動，另一個光學(xué)組件沿線性軸移動。通過監(jiān)測測量光束和參考光束之間的光路差異的變化，產(chǎn)生定位精度測量值（注意，它是兩個光學(xué)組件之間的差異測量值，與XL激光頭的位置無關(guān)）。此測量值可以與理想位置比較，獲得機床的精度誤差。

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